我们要维护保养单晶炉，就要知道单晶炉的核心部件，维护保养中主要检查重点，将故障排除。单晶炉最需要注意的就是坩埚轴驱动部件。

1、冷却水是维持坩埚轴驱动部件正常运作的前提之一，为了保证不会因为缺少冷却水而高温烧灼，拆下后需要垂吊放置。

2、坩埚轴驱动装置中特别要注意的还有关键的导向元件，就是它的导柱及直线运动轴承，维护时应多加注意，时常保证导柱的洁净度，不允许出现灰尘、杂物附着的情况，定期涂抹油脂，以防绣蚀。直线轴承出厂时已作了充分的润滑，必要时每隔一年加注锂基润滑脂一次，加油时，松开油盖，提起油封，推出轴承，认真清洗后方可注入新油（见附图9），发现导柱与轴承间有研损时，应将轴承微转一角度，使滚珠避开研损痕迹，以确保平衡运行。导柱与轴承是配套装配的，一定不能马虎大意。

3、还有传动部件的维护，比如滚珠丝杆精密杆付、涡轮、齿轮等，要保证清洁度，避免见到脏东西，经常清理，维持设备部件的正常运行。

4、坩埚轴快速升降传动涡轮，要定期的打开润滑孔在涡轮齿面上润锂基润滑脂一次，每次使用完毕后要检查波纹管是否有脏污。

以上讲到的几点都是必须要注意的，因为单晶炉的正常运行与上面讲到的零部件息息相关，定期检查维修很重要。

编辑GYN