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感应熔炼操作步骤及常见故障分析

[2014/2/12]

    感应熔炼的步骤有用前检查单晶炉、试用单晶炉、单晶炉正式工作、熔炼产品抽检、调整测试、使用单晶炉完成后安全断电,这些步骤都不可以省略。
    在感应熔炼之前应当检查好设备,看看有没有明显损坏的零部件,然后根据说明书的要求来操作试用,如果经过试用工作正常,就可以开始正式生产了,但是生产的过程中也要不断地检查下产品,看产品的某些指标是否达标,产品质量是否合格,如果指标不达标、质量不合格就要调整下机器,直到熔炼的产品的品质达到要求为止。

单晶炉熔炼


    常见的单晶炉故障有晶棒晃动,单晶炉晶棒晃动机器仍然可以正常运转,但是生产效率低,感应熔炼的产品质量差所以为了提高感应熔炼的效率和质量,不能盲目的熔炼,一定要对单晶炉进行检查。晶棒晃动要检查一下提拉头、冷却系统和真空系统。如果是提拉头出现问题,就要维修调整下减速机构或旋转机构。如果是冷却系统和真空系统出现问题,需要调整一下硅料和重锤结构。如果检查这些地方没有问题,看一下氩气等惰性气体是否在炉内流动,氩气在炉内流动的话,就需要改装一下单晶炉了,保证单晶炉热场分布均匀。
编辑:wq

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