单晶炉在运作过程中因为一直都会处于高温的状态下，对其他的零部件要求高且严格，因为需要维持长时间的工作，所以需要特别注意定期进行必要的维护保养。

1、坩埚驱动装置要求的运动精度比较高，是设备的核心运动部件，应重点维护。坩埚轴是石墨坩埚的支撑轴，应随时检查其冷却水的情况，以免烧损。

坩埚驱动采用滚珠丝杠和直线导轨结构，是坩埚驱动的关键部件，需保持清洁，严禁灰尘、杂物附着，并定期涂抹润滑脂。

2、籽晶旋转及提升机构的维修

籽晶旋转及提升机构也是单晶炉的关键部件，该部件运行的好坏直接影响单晶的生长。因此，也须重点维护。

卷轮箱是籽晶提升的核心，卷轮箱内的零件一般情况下不得随意拆除，必须拆除时，重新安装时必须保证软轴对中。软轴钢丝绳在使用中不准有死弯现象，并在每次开炉时检查钢丝绳是否烧损，如有烧损应及时修整或更换新的钢丝绳。

除了上面的两点之外，在每次开炉前应检查水路系统是否畅通，水温检测传感器安装是否正常。发现有结垢时应及时清理。在拉晶过程中，若发现水压报警或漏水时要及时采取措施。真空管道的过滤网每炉要清理一次，抽气管道每20～30炉清理一次。

编辑GYN