单晶炉“棒摆”原因分析及应对对策

　　单晶炉是一种在惰性气体环境中,使用加热器将多晶材料熔化,用直拉法生长无错位单晶的设备。单晶炉在感应熔炼中应用很普遍，不过作为一种熔炼设备出现故障是在所难免的，“棒摆”就是一种常见的单晶炉故障，今天小编就和大家分享一下单晶炉出现“棒摆”的原因和解决方法。

　　“棒摆”是专业术语，其实就是同城我们所说的单晶炉晶棒晃动，可能发生在整个单晶炉拉晶的各个阶段。而产生晶棒晃动的原因有很多，到目前为止也没有一个确定的答案，但是主要是由于以下几个地方出现故障造成的：

　　1.提拉头，减速机构/旋转机构或者热场和软轴。

　　2.惰性气体如氩气在炉内的流动，炉子的结构设计出现问题，热场的设计和分布不均匀。

　　3.冷却系统和真空系统出现故障，硅料和重锤的结构出现偏差。

　　不仅单晶炉的晶棒会晃动，液面也有可能出现抖动现象，液面出现抖动的原因主要有以下几点：

　　1.下轴传动部分出现蜗轮断齿等减速器故障。

　　2.下轴机械部分出现问题，比如有死点有杂物或者润滑程度不够等。

　　我们在使用的单晶炉的时候，不仅要掌握单晶炉操作步骤，而且要能在单晶炉出现故障时及时发现原因并采取有效的应对措施。

　　（编辑：wxq）

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