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浅述单晶炉操作步骤

[2013/11/29]

      单晶炉简单解释为拉制单晶材料的设备。在现实操作过程共,为了能够更好的保证生产的安全性稳定性,因此单晶炉的操作都有一套完整的流程。

   首先在准备作业前,操作人员要确保进入单晶炉车间时穿戴好统一干净的服装。在单晶炉开炉前,做好相应的检查工作。准备好防尘口罩,马金,一次性手套等常用用品。各类工具准备齐全。炉子在开始使用前,要对单晶炉进行清理。
   由于单晶炉的设备型号的不同,因此今天给大家介绍的步骤是常用单晶炉的操作步骤,具体到实际操作,还要根据型号而定。
   首先在单晶炉作业前,要做好准备工作,然后开始进行热态检漏,检漏的要求在3分钟以上,同时要做好记录。接下来将单晶和籽晶取出,冷却后要对单晶进行参数检测,同样需要做好记录。接着将石墨件取出做好冷却工作,之后要对进行重量检测并做记录。然后在通过真空过滤器来进行清洗,真空泵油的检查更换。完成以上步骤,就要开始对石墨,单晶炉的室内进行清洗了,知道确认没有污物为止。接下来就是对石墨的,石英坩埚,籽晶进行安装,然后进行抽空继续检漏。最后引晶,缩颈,放肩,转肩,然后等径生长。最后单晶炉就进入收尾工作了。
(编辑:xiaoying)

 

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